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技術方案

Technical scheme

在研項目 解決案例

氧化技術

鏈式退火技術研發的目標是應用于SE-PERC電池生產的背面拋光工序。

1.激光SE摻雜后在硅片表面用鏈式氧化技術生長的氧化層,可在背面堿拋時實現良好正面保護效果;

2.相較管式熱氧化工藝,可大幅生產便捷性并且降低成本。


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